申城电科所车间内。
程实指着图纸上的关键部位:“生产这款芯片,首先要解决硅片提纯问题。
必须采用区熔法提纯,把硅片纯度提高到 99.% 以上,也就是 9 个 9 的纯度。
北京化学试剂研究所的光刻胶已经送来了,纯度没问题,大家放心用。”
一位负责芯片生产的专家问道:“程实同志,0.08 微米制程,咱们的光刻机能不能达到要求?”
“能。” 程实肯定地说,“咱们的光刻机采用 13.5 纳米极紫外光光源,数值孔径 0.55。
单次曝光分辨率就能达到 8 纳米,生产 0.08 微米的芯片完全没问题。而且它每小时能处理 400-500 片晶圆,效率很高。”
他拿起笔,在图纸上标注:“光刻环节,要采用多重曝光技术,确保电路图案的精度。
蚀刻环节,用等离子体蚀刻技术,控制好蚀刻深度和均匀性,不能有丝毫偏差。
镀膜环节,要采用原子层沉积技术,保证薄膜的厚度均匀和附着力。”
谢三元皱了皱眉:“这些工艺要求都很高,工人能熟练操作吗?”
“能。” 程实看向谢三元,“之前的培训不是白做的,而且我会在车间现场指导。
另外,生产过程中,必须严格控制车间环境,温度保持在 23c±2c,湿度 45%±5%,空气中的尘埃粒子数每立方米不能超过 100 个。”
他强调道:“这款芯片是雷达的核心,性能直接决定了雷达的探测距离和抗干扰能力,绝对不能出任何差错。
每一个环节都要进行三次检测,第一次是硅片提纯后检测,第二次是光刻蚀刻后检测,第三次是封装测试后检测,不合格的产品一律销毁,绝不允许流入下一道工序。”
一位年轻的工程师问道:“程实同志,射频组件需要的芯片和这个是同一款吗?还是需要单独生产?”
“是同一款芯片。” 程实回答,“这款 xJ-01 芯片既能作为雷达的核心芯片,也能用于射频组件。
只要批量生产这款芯片,就能同时解决两个问题。
另外,射频组件需要的其他零件。
元件五厂已经能生产,谢厂长,你安排人同步生产射频组件的其他零件,等芯片出来,立刻组装。”
谢三元连忙点头:“没问题!我现在就去安排,让车间同步生产射频组件的零件,确保芯片一到就能组装完成。”
程实看着众人,语气沉重而有力:“同志们,战鹰 1 号是国家重点项目,机载雷达更是战鹰 1 号的眼睛。
现在,国家需要我们,军队需要我们,我们必须在一个月内,把这款芯片生产出来,送到 101 所。”
他顿了顿,继续说道:“以前,西方列强卡我们的脖子,不让我们拥有先进技术,不让我们发展壮大。
现在,我们自己造出了光刻机,造出了超级计算机,还能造出高精端芯片。
这说明,只要我们团结一心,刻苦钻研,就没有我们做不到的事情!”
“我们一定全力以赴!” 所有专家和管理人员都站起身,眼神坚定,语气激昂。
“好!” 程实一拍桌子,“现在,会议结束。王志所长,你负责芯片生产的技术指导。
谢三元厂长,你负责车间管理和物资保障。
其他同志,各司其职,坚守岗位。从现在开始,芯片生产线 24 小时不间断生产,人歇机器不歇。
我会和大家一起,守在车间里,直到第一批芯片合格出厂。”
众人轰然应诺,立刻行动起来。
王志带着技术专家们直奔光刻机车间,开始调试设备,准备硅片提纯。
谢三元跑去元件五厂,安排射频组件零件的生产。
工人们也纷纷回到岗位,穿戴好防静电服,做好生产准备。
程实没有休息,他先去了硅片提纯车间。
看着工人们按要求启动熔炉,看着硅锭在高温下慢慢融化、提纯,他才放心地走向光刻机车间。
光刻机车间里,王志正带着工程师们调整设备参数。
程实走过去,仔细查看了光源系统和物镜系统,说道:“光源功率再调高 5%,确保深紫外光的强度足够。
物镜的焦距再微调一下,保证成像精度。”
工程师们立刻按要求调整,程实又叮嘱道:“光刻胶涂敷要均匀,厚度控制在 0.5 微米,涂敷后要进行前烘,温度 90c,时间 60 秒。”
王志点点头:“都按你说的来,我们已经做了好几次试验,参数都摸透了。”
程实走到晶圆装载区,看着工人小心翼翼地把提纯后的硅片装到光刻机上,眼神专注。
他知道,每一个步骤都不能马虎,这关系到战鹰 1 号的成败,关系到国家的国防安全。
接下来的几天,程实几乎吃住都在车间里。他每天只睡四个小时,其余时间都在各个生产环节巡查指导。
遇到问题,立刻现场解决;发现偏差,马上调整参数。
硅片提纯车间里,工人们轮流值守,盯着区熔炉的温度和纯度检测数据,确保每一片硅片都达到 9 个 9 的纯度。
有一次,纯度检测发现有一个批次的硅片纯度差了 0.00000001%,程实毫不犹豫地让人把整批次硅片都销毁了。
“同志们,” 程实站在车间里,对着工人们说,“我们生产的不是普通芯片,是国家的国防利器。
差一丝一毫都不行,宁可销毁,也不能让不合格的产品流下去。”
工人们都被程实的严格要求打动了,做事更加认真仔细。
光刻机车间里,程实亲自操作光刻机,进行第一片晶圆的光刻。
他盯着屏幕上的电路图案,手指精准地控制着设备的每一个动作。
当第一片晶圆光刻完成,经过检测,电路图案的精度完全符合要求时,车间里爆发出一阵压抑的欢呼。
“成功了!光刻成功了!” 工程师们激动地互相拥抱。
程实脸上露出一丝疲惫但欣慰的笑容,说道:“好样的!接下来就是蚀刻和镀膜,大家继续加油,不能松懈。”
蚀刻车间里,等离子体蚀刻机正在高速运转。
程实站在旁边,看着蚀刻后的晶圆,通过电子显微镜仔细观察蚀刻的深度和均匀性。“深度刚好,均匀性也达标。”
他满意地点点头,“可以进行下一步镀膜了。”