“神光”实验室的无尘车间里，气氛凝重得仿佛能滴出水来。
一张巨大的工程图纸铺在桌面上，上面密密麻麻地画满了复杂的机械结构和运动轨迹。
范·德·维尔指着图纸中央，眉头紧锁：“李，你看这里。双工件台的核心逻辑，就是这两个平台的高速交换。一个在曝光位，一个在预处理位。它们需要在短短几秒钟内完成位置互换，不仅速度要快，而且精度必须控制在纳米级！”
他顿了顿，语气中带着一丝无奈：“在ASmL，我们尝试过用高精度的气浮导轨，但机械结构的惯性和摩擦力始终是个大问题。一旦速度过快，微小的震动就会毁掉整个曝光过程。这就像是让两头大象在钢丝绳上跳舞，还要保证不碰到对方，太难了。”
李晓宇看着图纸，沉思良久。他知道，这是光刻机从“能用”到“高产”的关键一跃。
如果沿用传统的机械导轨，哪怕做到极致，也依然无法摆脱物理摩擦的桎梏。
“既然地上跑不快，那我们就让它……飞起来。”
李晓宇忽然抬起头，眼中闪烁着异样的光芒。
“范先生，如果我们将导轨彻底扔掉呢？”
他拿起一支笔，在图纸上画了一个悬浮的方块。
“平面磁悬浮驱动技术（planar magnetic Levitation）！”
“磁悬浮？”范·德·维尔瞪大了眼睛，仿佛在听天方夜谭，“你是说像磁悬浮列车那样？但这可是在纳米精度的光刻机里啊！电磁场的波动怎么控制？热量怎么散发？”
“用‘女娲’来控制！”李晓宇自信地说道，“我们已经在‘昆仑’上验证了主动磁悬浮轴承的可行性。现在，我们只需要把这个技术平面化、放大化！”
他迅速在白板上勾勒出了系统架构：底座铺设海尔贝克阵列（halbach Array）永磁体，工件台底部安装多组高精度的线圈。通过林涛团队开发的超高速实时算法，精确控制每一个线圈的电流大小和方向，产生可控的洛伦兹力，让工件台在六个自由度上实现无接触的悬浮和驱动！
“没有摩擦，没有磨损，没有机械间隙！”李晓宇的声音充满了感染力，“这将是真正的‘零摩擦’运动，理论上的极限速度和精度，将只受限于我们的控制算法和传感器灵敏度！”
这个大胆到近乎疯狂的构想，让范·德·维尔彻底呆住了。他在ASmL工作了半辈子，见过的最激进的方案也不过是气浮，而这个中国人，竟然想直接跨越到磁悬浮！
“这……这太疯狂了。”他喃喃自语，但眼中的光芒却越来越亮，“但如果真的能实现，这将是对现有光刻机架构的彻底颠覆！”
与此同时，在隔壁的光源实验室，张承平院士也面临着巨大的挑战。
要实现0.25微米工艺，光源波长必须缩短到248纳米（KrF准分子激光）。
“这种激光器太娇气了！”一位老专家抱怨道，“氟气具有极强的腐蚀性，腔体寿命是个大问题。而且，单腔结构的能量输出很不稳定，稍微加点功率，线宽就飘了。”
李晓宇来到实验室，看着那台正在测试的激光器，脑海中浮现出了后世cymer公司的经典设计。
“单腔不行，那就双腔。”
他在图纸上画了两个串联的腔体。
“mopA（主振荡功率放大）结构！”
“第一个腔体做‘种子源’，只负责产生高质量、窄线宽的小功率种子光。第二个腔体做‘放大器’，只负责把这个种子光进行能量放大。”
“各司其职，互不干扰！这样既能保证光束质量，又能大幅提升输出功率和寿命！”
这就是“极光之源”！
在李晓宇的指引下，“神光”计划再次按下了加速键。
秦振华带领的制造团队，开始攻关超大尺寸的永磁体阵列拼装工艺；林涛的算法团队，则在“盘古”阵列上，日夜不休地训练着复杂的磁悬浮控制模型；张承平的光学团队，更是废寝忘食地调试着mopA双腔激光器。
三个月后，第一台采用平面磁悬浮驱动的“神光二号”原理样机，终于在恒温车间里搭建完成。
没有导轨，没有丝杠，没有电机。
两个重达几百公斤的工件台，就这样静静地悬浮在光滑的花岗岩基座之上，仿佛失去了重力。
“启动测试！”李晓宇下达指令。
“嗡——”
一阵极其轻微的电流声响起。
两个工件台瞬间启动！
它们像两个幽灵，以惊人的速度在基座上飞掠而过，在中央位置交错时，彼此之间的距离只有几毫米，却如同精密编排的舞蹈一般，互不干扰，流畅至极！
激光干涉仪显示：最大速度2米\/秒，加速度2G，定位精度……5纳米！
“上帝啊……”范·德·维尔看着这一幕，激动得浑身颤抖，“这是……这是未来的光刻机！你们真的做到了！”
就在这时，李晓宇的手机响了。是周将军。
“晓宇，神舟飞船的发射很成功，但我们遇到了一个新的难题。”周将军的声音有些急切，“航天员要进行出舱活动，但我们的舱外航天服，内胆的液冷管路编织工艺一直不过关，散热效果不理想。我们需要一种能够编织复杂三维管路的机器。”
“液冷服编织机？”李晓宇看了一眼身边的苏晚晴。
苏晚晴心领神会，嘴角露出了一丝自信的微笑。
“交给我吧。”她轻声说道，“既然能织出十米长的碳纤维大梁，织一件衣服，又有什么难的？”
半年后。
当第一块由“神光二号”曝光，良率达到95%的0.25微米晶圆下线时；
当第一件由苏晚晴团队研制的，拥有完美散热性能的国产舱外航天服内胆被送到北京时。
李晓宇站在“工业长城”的指挥中心，看着大屏幕上不断跳动的数据。
他知道，他的这套体系，已经不仅仅是一座工厂，而是一台能够为这个国家源源不断输出“工业血液”的强力心脏。
他转头对范·德·维尔说：“你看，我们不仅造出来了，而且比你想的还要快。但这还不够，我们的目标，是那个更短的波长——193纳米（ArF）！”
范·德·维尔看着这个充满野心的年轻人，第一次发自内心地感到，在这个神奇的国度，没有什么是不可能的。