江州,江钢集团,老厂区,墨子光刻胶验证线。
这是一间由老旧厂房改造的千级洁净室。
空气中弥漫着光刻胶特有的刺鼻溶剂味。
这里没有鲜花,没有掌声,只有刺耳的警报声。
“滴——!滴——!滴——!”
那台林远费尽心思,从江钢仓库里扒出来的,已有二十年历史的二手尼康NSR-S204b光刻机,突然停止了运转。
红色的警报灯疯狂闪烁,将实验室里每一个人的脸庞都映得惨红。
“怎么回事?”负责现场工艺的张明冲到控制台前。
操作员脸色煞白,指着屏幕上的一行错误代码,手指都在颤抖。
“Error code 2204: Lens contamination detected. Intensity Loss > 15%.”
错误代码2204:检测到镜头污染。光强损失超过15%。
张明只觉得脑子里嗡的一声。
镜头污染。
这是光刻工艺中,最严重的事故之一。
如果是硅片报废,也就是损失几百美金。
但如果是光刻机的投影物镜被污染,那意味着这台价值几千万的设备,可能要大修,甚至报废。
“停机!马上停机!”张明嘶吼道,“把晶圆退出来!快!”
一小时后,分析实验室。
那片肇事的晶圆,被放在了原子力显微镜下。
林远、王海冰、以及墨子材料的创始人赵博士,围在屏幕前。
屏幕上,原本应该平整光滑的光刻胶表面,此刻却像月球表面一样,布满了坑坑洼洼的斑点和不明颗粒。
更可怕的是,在显影后的沟槽里,残留着一层白色的胶状物质。
这就是导致镜头污染的罪魁祸首,光刻胶在曝光过程中,发生了非预期的化学反应,产生了不可溶的沉淀物,并挥发到了镜头上。
“赵博士,”林远的声音很轻,却冷得像冰,“这是怎么回事?”
“我们的配方是没问题的……”赵博士满头大汗,拿着一叠厚厚的实验数据,“在实验室的小样测试里,良率明明达到了90%……”
“我要的不是实验室的数据!”林远猛地打断了他,“我要的是,为什么上了产线,就变成了毒药?”
王海冰拿着一份刚刚出来的光谱分析报告,递给了林远。
“林董,原因找到了。”
“不是配方的问题。”
“是杂质。”
王海冰指着报告上那几个刺眼的峰值。
“我们在光刻胶里,检测到了钠和铁离子。”
“浓度:50 ppb十亿分之五十。”
“50 ppb?”林远皱眉,“这很高吗?”
“对于食品工业,这比纯净水还干净。”王海冰苦笑,“但对于半导体光刻胶,这是剧毒。”
“光刻胶对金属离子的管控要求,是ppt(万亿分之一)级别。也就是个位数ppt。”
“50 ppb,相当于标准值的一千倍!”
“这些金属离子,在深紫外光的照射下,充当了催化剂,改变了光引发剂的化学反应路径,导致光刻胶交联过度,变成了洗不掉的石头。”
“而且,”王海冰的声音越来越低,“钠离子是移动电荷,它会穿透栅极氧化层,直接杀死下方的晶体管。这批晶圆,就算光刻出来了,电学性能也是废的。”
全军覆没。
三个月的努力,十个亿的投入,换来了一堆废片和一台被污染的光刻机。
“杂质是从哪儿来的?”林远问。
“我们排查了所有的原料。”赵博士擦着汗,“树脂、溶剂、pAG,都是按照最高标准采购的。甚至,我们的丙二醇甲醚醋酸酯溶剂,用的都是进口的电子级。”
“那就是容器。”汉斯走了进来,手里拿着一个不起眼的不锈钢桶。
“这是你们用来储存光刻胶的容器。”汉斯指着桶壁,“国产的316L不锈钢。”
“有什么问题吗?”
“有大问题。”汉斯叹了口气,“德国默克或者日本JSR用的容器,虽然也是不锈钢,但内壁经过了特殊的电解抛光和钝化处理,表面粗糙度低于0.1微米,并且镀了一层特氟龙涂层。”
“而你们用的这个……”汉斯用戴着白手套的手指,在桶内壁摸了一下,指尖上有一抹淡淡的黑痕。
“内壁有微小的划痕和锈蚀。光刻胶是强溶剂,它把桶壁上的铁离子‘洗’下来了。”
“还有管道、阀门、过滤芯……”
汉斯摇了摇头。
“林,你把问题想简单了。”
“光刻胶不是调鸡尾酒。配方只是1%,剩下99%是提纯和品控。”
“你们中国有最好的化学家,能设计出最先进的分子结构。但是,你们缺乏制造最干净的桶、最细的滤网、最纯的溶剂的基础工业体系。”
“日本的信越化学,为了控制金属离子,他们甚至自己生产包装瓶!他们的工厂管道,每一根都是定制的!”
“这是一个系统工程。你不可能在沙滩上建高楼。”
汉斯的话,像一盆冷水,浇灭了林远心中弯道超车的火焰。
他意识到,自己撞上了一堵墙。
一堵名为基础工业底蕴的叹息之墙。
这东西,没办法靠写代码解决,也没办法靠砸钱瞬间买来。
它需要时间。需要十年、二十年的工艺积累。
而林远现在最缺的,就是时间。
就在内部研发陷入泥潭的同时,林远发动的资源战,也开始显现出副作用。
江州,江南之芯集团,战略部。
“林董,情况不对。”刘华美拿着一份最新的市场简报,脸色难看。
“我们限制了镓和锗的出口,确实让国际市场价格暴涨了50%。但是,东和财团并没有我们想象中那么慌张。”
“为什么?”
“因为战略储备。”
刘华美调出一张数据图。
“日本经济产业省,早在十年前就建立了稀有金属国家储备制度。根据情报,信越化学和JSR的仓库里,囤积的镓和锗,足够他们全负荷生产18个月!”
“18个月……”林远喃喃自语。
这意味着,他的断粮策略,在一年半内伤不到对方的分毫。
但对方的反击,却是立竿见影的。
“昨天,日本政府宣布,将光刻胶配套试剂列入出口管制清单。”刘华美继续汇报。
“配套试剂?”
“对。不是光刻胶本身,而是显影液、剥离液、清洗液和抗反射涂层。”
“这些东西看起来不起眼,技术含量似乎也不如光刻胶高。但是,它们必须与特定的光刻胶配对使用。”
“如果我们用日本的光刻胶存货,就必须用日本的显影液。否则,酸碱度不匹配,图形就会显影不全,或者侧壁粗糙度超标。”
“现在,他们断了显影液。”
“国内的晶圆厂中芯、华虹,虽然还有光刻胶的库存,但显影液的库存只够两周!”
“两周后,如果这也是断供,全中国的先进产线都要停摆。”
“而且,”刘华美顿了顿,“国内的晶圆厂老板们已经疯了。他们不敢骂日本人,只能骂你。”
“他们说,是你挑起了这场贸易战,却没能提供替代方案。是你把他们架在火上烤。”
这就是现实。
当你的拳头不够硬的时候,你的每一次反击,都可能变成射向自己的回旋镖。
林远的资源牌,打出去了。但因为产业链的不对等,对方只受了皮外伤,而己方却面临大动脉出血。
接下来的几天,坏消息接踵而至。
墨子材料内部,因为第一次验证的惨败,团队士气低落。
几位核心的海归博士,开始质疑赵博士的技术路线。
有人提出离职,甚至有传言说,他们准备接受外企如陶氏杜邦的高薪挖角。
“我们是在做不可能的事。基础配套太差了,巧妇难为无米之炊。”一位工程师在内网发帖抱怨。
启明联盟内部,原本紧密团结的盟友,开始出现了裂痕。
李俊峰打来电话:“林老弟,dm的生产线快断顿了。能不能先通过你的海外渠道,搞一批日本的显影液进来?哪怕加价十倍也行啊!”
汪韬虽然没说话,但他那边的光子芯片进度也停滞了。
因为光子芯片的加工,同样需要高精度的光刻工艺。没有光刻胶,光子芯片就是空谈。
林远坐在办公室里,看着窗外的夜色。
办公桌上,放着那块布满斑点的废弃晶圆。
他第一次感觉到了深深的无力感。
他可以用“算力”去置换“算法”,可以用市场去换取标准。
但他无法用钱去买来时间,无法用谋略去跨越物理规律。
化学反应就是化学反应。
纯度不够,就是不行。
这是科学的尊严,不容亵渎。
“老板,”顾盼轻手轻脚地走进来,放下一杯咖啡,“要不要……先暂停一下?”
“暂停什么?”林远抬起头,双眼通红。
“暂停资源战。”顾盼小心翼翼地建议,“我们可以通过第三方,比如保罗·辛格,向日本方面释放善意。恢复镓锗出口,换取他们恢复显影液供应。先活下来,再图发展。”
这确实是最理性的选择。
也是所有商业教材都会教的选择止损。
只要林远低头,危机立刻就能解除。
晶圆厂能复工,盟友会满意,大家都能松一口气。
除了那个虽然微弱,但已经点燃的国产化火苗,会彻底熄灭。
如果现在退缩,墨子材料就会彻底垮掉。
国内刚建立起来的信心会崩塌。以后再想搞材料国产化,没人会信了。
这是一次信仰的崩塌。
林远看着那块废晶圆,沉默了良久。
“不。”
他声音沙哑,却坚定。
“不能退。”
“退一步,就是万丈深渊。”
“我们现在的问题,不是方向错了。而是我们太急了。我们想用百米冲刺的速度,去跑一场马拉松。”
他站起身,走到白板前,擦掉了之前所有的宏大战略图。
只写下了两个字。
提纯。
“顾盼,通知下去。”
“第一,‘资源战’继续。告诉商务部,不仅不松口,还要加码!把稀土永磁材料也列入管制预备名单!我要让日本人的‘战略储备’变成‘心理恐慌’!我看他们能撑18个月,能不能撑住股市的崩盘!”
“第二,墨子材料那边,停止所有的新配方研发。所有工程师,全部下车间!”
“去干什么?”顾盼问。
“洗桶。”
林远指着那个晶圆。
“既然问题出在杂质上,那我们就从源头抓起。”
“去买最好的电解抛光设备,自己加工储罐!”
“去买最好的过滤膜,自己做纯化!”
“哪怕是用蒸馏水洗上一百遍,也要把那个该死的钠离子给我洗掉!”
“第三,”林远眼中闪过一丝狠厉。
“去联系江钢化工部。”
“光刻胶的树脂,是石油化工产品。但最早的树脂,是从煤焦油里提炼的煤化工。”
“日本人的石油化工路线我们走不通,那我们就走煤化工!”
“江钢有全国最大的焦化厂,有最全的煤化工产业链。”
“我要在江钢,建一座电子级化学品精炼厂!不买日本人的原材料了。我们自己炼!”
“这是一条没有人走过的路。也许很难,也许很慢。”
“但只有这条路,是真正属于我们自己的。”
林远的决定,是一场豪赌。
他赌的是中国庞大的工业门类齐全优势,能弥补精细化工的短板。
但他不知道的是,就在他决定死磕的时候。
在东京。
萧若冰正坐在茶室里,看着一份新的情报。
“他想搞煤化工?”萧若冰嘴角露出一丝冷笑。
“天真。”
“他以为光刻胶只是化学问题吗?”
“不,那是光学问题。”
“通知佳能和尼康。”萧若冰淡淡地下令,“停止向中国出售和维护所有的缺陷检测设备。”
“做出了光刻胶又怎么样?”
“如果没有检测设备,他们就是瞎子。”
“我要让他做出来的每一桶胶,都不敢上机。”
林远以为只要解决了纯度就能赢。
但他即将发现,没有了检测工具,所谓的良率提升,根本无从谈起。
这是一场,从材料蔓延到设备,再蔓延到工具链的,全方位绞杀。
而林远,手里只剩下一张牌江钢。
那个傻大黑粗的钢铁巨人,能承载起纳米级的精密梦想吗?