暴风中文 通过搜索各大小说站为您自动抓取各类小说的最快更新供您阅读!

地下室里的激情与决心并未随着时间流逝而冷却,反而如同被投入炉火的干柴,在短暂的沉寂后,燃烧得愈发炽烈,散发出一种近乎偏执的光热。

明朗勾勒出的那幅简化版工艺蓝图,虽然清晰诱人,像一盏指路的明灯,但灯光之外的黑暗区域,却让在场的每一位都清晰地意识到,从纸面方案到现实产品之间,横亘着一条名为“设备与量产”的、深不见底的巨大鸿沟。

这鸿沟需要真金白银、需要稀缺资源、需要近乎疯狂的执行力才能填平。

工艺路线一旦确定,所有抽象的技术难题瞬间具象化,焦点变得无比清晰且令人窒息:设备,设备,还是设备!

尤其是阵列工艺中最为核心、技术壁垒最高的——那五次光刻所必需的光刻机(Stepper\/Scanner)。

它就像一位傲慢的君王,主宰着整个制造流程的生死。

空气中弥漫着泡面与松香混合的味道,但更浓的是凝重的思考气息。

明朗、欧阳谦、欧阳旭三人挤在那台嗡嗡作响的老旧电脑前,屏幕荧光映照着他们严肃的脸庞,开始一项项罗列那足以让任何初创团队头皮发麻的“死亡清单”。

“光刻机是心脏,也是最难啃的骨头,没有之一。”

欧阳谦推了推鼻梁上滑落的眼镜,面色凝重得仿佛能滴出水来:“全新的?那是天方夜谭。目前主流用于面板制造的ArF(氩氟)准分子激光光刻机,一台就要价数千万美元,而且是对我们禁运的战略物资。我们唯一的选择,只能是去全球的二手设备市场‘淘金’。”

他顿了顿,努力让语气保持冷静:“目标是那些被日韩或中国台湾一代、二代面板厂淘汰下来的、适用于较小尺寸和更宽松制程的接触式光刻机(contact Aligner) 或者接近式光刻机(proximity Aligner)。我们对分辨率要求可以放低,能稳定搞定3-5微米(μm) 的线宽,就足够满足我们qVGA分辨率的需求了。但是……”

他加重了语气,每一个字都像锤子敲在心上:“这种老机器就像年迈的赛马,状态极不稳定,故障率高,维护保养是个无底洞。而且,与之配套的铬版掩膜(mask) 制作成本高昂、周期长,每一次损耗都肉疼,套刻精度(overlay Accuracy)的控制更是噩梦级的挑战。”

“何止是光刻机!”欧阳旭接过话头,他的急躁此刻化作了语速极快的忧虑,手指在屏幕上那份不断变长的清单上快速点着,仿佛要点燃那些冰冷的设备名称:“薄膜沉积设备是另一座大山!阵列工艺需要:磁控溅射台(Sputter)——至少需要两台,一台用于镀钼铝钼(mo-Al-mo) 栅极和源漏金属层,另一台专用于镀氧化铟锡(Ito) 透明电极。还有pEcVd(等离子体增强化学气相沉积)设备——用于沉积关键的氮化硅(SiNx)栅极绝缘层和非晶硅(a-Si) 有源层。这些设备也必须找二手货,而且为了提升效率和减少污染,最好能找到多腔体的集群设备(cluster tool),但这又意味着价格的指数级上升!”

他几乎喘不过气,继续道:“刻蚀设备(Etcher)!湿法刻蚀槽(wet Etch bath)相对简单,用于图形化金属层,但干法刻蚀机(dry Etcher),我们至少需要一台反应离子刻蚀(RIE),用于精确刻蚀a-Si岛和氮化硅层,这玩意儿的工艺气体(cF4, o2, SF6等)配比、射频功率、真空度控制,每一个参数都能让我们掉光头发!这还不是最头疼的,清洗设备(cleaner)!”

他几乎喊了出来:“超声波清洗机、兆声波清洗机(megasonic cleaner),每一步光刻前后、每一次沉积之前,都需要近乎变态的彻底清洗,否则一颗零点几微米的灰尘落在基板上,未来就是一个致命的亮点或暗点(bright\/dead pixel),直接宣告屏幕报废!”

欧阳谦深吸一口气,努力将话题拉回系统性的叙述:“还有涂胶\/显影设备(coater\/developer):旋转涂胶机(Spin coater) 用来均匀涂布光刻胶,其转速和加速度控制直接影响胶厚均匀性;显影机要保证显影液浓度、温度和喷洒的均匀性,精度要求极高。最后,没有眼睛的制造就是盲人摸象,检测设备(metrology) 绝不能省:高倍率光学显微镜、哪怕一台老旧的扫描电子显微镜(SEm) 也是必须的,用来检查线宽(cd)、套刻精度、剖面形貌和缺陷。还得有台阶仪或椭偏仪测膜厚,有探针台(probe Station) 配合参数分析仪测试tFt的电学特性(开关比、迁移率、阈值电压)……否则我们根本就是在闭着眼瞎搞,连失败的原因都找不到!”

“我的天爷啊!这还仅仅是他妈的阵列(Array)部分!”欧阳旭猛地向后一靠,用力挠着自己的头发,仿佛想把这一切烦恼都揪出去:“后面还有呢!成盒(cell)工艺需要的UV固化机用于固化封框胶、精度要求极高的真空对位贴合机(Vacuum Alignment & Laminating machine) 用来把tFt阵列基板和彩膜(cF)基板像夹心饼干一样精准对位压合!模组(module)工艺需要的AcF绑定机(AcF bonding machine) 用来把驱动Ic芯片以微米级精度压接到玻璃基板的引脚上、热压机(hot press) 使导电粒子破裂形成连接、精雕机(dicer) 或激光切割机把大张玻璃切割成小片、研磨倒角机(Grinder\/beveler) 处理切割后锋利的玻璃边缘……这简直他妈的不是创业,是要在2005年的中国,凭空重建一个微电子工业的雏形!一个简化版的‘面板富士康’!”

清单越列越长,密密麻麻的文字和数字像一座座无形的大山,压得三人几乎喘不过气。

实验室里原本燃烧的激情,仿佛被这冰冷的现实清单浇上了一盆冰水,只剩下滋滋作响的绝望白汽。

这其中的每一台设备,都不仅仅意味着一个名称,其背后是巨量的资金投入、复杂曲折的全球寻源和采购过程、令人头疼的海关通关、以及更令人望而生畏的安装、调试、工艺验证和无休止的维护。

每一关都足以让缺乏资源和经验的团队折戟沉沙。

然而,在整个过程中,明朗的眼神却始终如磐石般坚定。

他静静地听着,大脑飞速运转,将兄弟二人的忧虑与自己所知的未来信息相互印证、整合。

他早已料到了这份艰难,并且,在他穿越者的视野里,已经勾勒出了一个绝佳的、跳出常规思维的解决方案。

“设备的问题,一件一件解决。清单列出来,就好办了一半。我们可以分优先级,最先保障核心的光刻、沉积、刻蚀设备。钱,我来想办法。”明朗的声音沉稳有力,像定海神针般瞬间打破了地下室里略显压抑和绝望的气氛:“至于场地……这个最大的难题,我已经想好了。”

他站起身,走到那扇唯一的、布满灰尘的小窗前,目光仿佛穿透了校园厚重的围墙和喧嚣的城市,投向了记忆中的远方——江州国际联合化工厂那片熟悉的广袤厂区。

“江州国际联合化工,”他转过身,语气带着一种不容置疑的确定性:“三号仓库区,那边有现成的、至少两千平米挑高超过八米的大型空置仓库。地面是加固的混凝土,承重完全没有问题。面积对于我们这条试验兼中小尺寸量产线,绰绰有余。”

他顿了顿,抛出了最关键的优势:“最重要的是,化工厂本身就有极其稳定的双回路工业供电系统,足以应对精密设备对电压波动的苛刻要求;它自身还拥有成熟的工业级超纯水(Upw)制备系统,水质远超我们电子级清洗的要求,只需要进行末端再精处理即可!这对于我们来说,简直是得天独厚、省下天文数字基础投资的宝藏!我们只需要进行内部隔断和高级别的装修,搭建起class (万级) 甚至关键区域达到class 1000(千级) 的无尘车间(clean Room),配套FFU(风机过滤单元) 和温湿度控制系统,就能满足要求。而且,就在化工厂区内,氮气、氧气、氩气等大宗气体以及特种化学品的采购、储存、安全管理和废液处理,都可以依托化工厂现成的体系和资质,比我们单独去申请要方便、快速、安全得多!”

欧阳兄弟张大了嘴巴,再次被明朗这天马行空却又无比精准、切中要害的想法震惊得说不出话来。

利用大型化工厂的仓库和现成基础设施?

这简直是神来之笔!

堪称绝妙的战略迂回!

这不仅瞬间解决了令人绝望的场地和基础配套问题,更是在资源利用上做到了极致,将他们的创业成本压缩到了一个难以置信的程度。

希望的火焰,再次在他们眼中猛烈地燃烧起来,而且比之前更加炽热、更加坚定。

暴风中文推荐阅读:反腐风云之收官之战重生之权臣的掌中娇和亲公主之冷霸汗王的心尖宠大梦我仙诀食香离谱!谁家召唤师开局召唤龙王总裁大人,V587!我的老爹是重生花神不花小王公锦鲤少女逃荒种田二十五岁才激活神豪系统?开局被富婆包围,校花:那我走?让你扮演胡桃,你把全网当客户?七公子1腹黑老公,严肃点!女主请自重,我真的只想刷奖励啊火葬场奇谈小时候救的校花,长大后她倒追我蛇蝎毒妃:本宫不下嫁换嫁八零:新婚夜队长起来洗床单暴君爹爹的团宠小娇包灾难艺术家溺宠俏妻:傲娇总裁狠狠爱全民女神:重生腹黑千金穿成恶毒后娘后她带崽野翻了!渣男系统:在恋爱游戏里大放异彩替嫁神医:腹黑世子,甩不掉带一帮靓妞去修仙我官场崛起,退婚的女友开始倒追黄金庭院:从灵开始的现世生活不凡法师都市魔神:渡劫失败,夺舍重修娱乐圈最强替补工厂里的夫妻都市之神帝驾到重生了,此时不浪何时浪邻居是热芭?我有个大胆的想法!欺骗世界,我打造了现代超凡文明妻子背叛:摇身一变成太子至高使命分身强度拉满,我杀穿高武世界修真三千年,校花竟是我老婆嫡女虐渣手册国庆回家多了个姐姐大小姐失忆后,前任纷纷回头了阿姨,你也不想这事被孩子知道吧重生之我只想做个贪财好色的俗人重生1978:我的媳妇是女知青妖女满堂?明明是仙子忠诚!天师莫十七重生77:一根鱼竿开启财富人生
暴风中文搜藏榜:我成了五个大佬的白月光舞动娱乐圈夺梦九帝斩天诀直上青云:从高考落榜开始蜜宠娇妻:BOSS夫人拽又甜每天一个战神技能华枝春满隋末扬旌都市修真:无敌杀伐开局操作蝙蝠侠重生60年代开始奋斗盛宠娇妻理论上可行东京大律师:开局律所破产苟不住的空间主豪门盛宠:司少,轻宠混世龙医这趟穿越有点险美女校花的全能保镖勒少的心尖萌妻婚后交锋之辣妻难驯重生87退婚后,前妻一家急疯了嫡女凶猛都市极品小仙医风水:姐,我不想努力了入狱成为天机神算,国家请我出山冥公子濒死病人,一首大不为震惊全网穿成男神电脑怎么破现代都市的鉴宝王者农门旺女:皇后,快来给朕抱抱!不敢在群里喊老婆,怕她们全回话重活之逍遥大明星重生空间之媳妇逆袭挂机修炼的我不敢躺平风雨兼程度十年从四合院开始的操蛋人生恶魔99次蜜吻:老公,宠太猛透视神医女婿天才萌宝,妈咪一个亿龙影战神:王者归来爱上女处长:一念翻身原神之古雨魔神我重生断绝关系,你们还没完了都市之绝世高手穿书后病娇暴君只在我怀里撒娇娇拍卖缅北噶腰团伙,警察关注我重生后我成了地产大亨群众官念
暴风中文最新小说:重生矿奴,却成为人类救世主?穿书被鞭打,我抱上黑化首辅大腿与病弱兄长共梦我在板鸭很开心换嫁随军,谁家凶兽奶呼呼呀!殿下,你抢的王妃是顶级大佬野欲诱吻于他怀中轻颤净水迎帆我女朋友是学医的全家偷听心声吃瓜,我赢麻了荒年肉满仓,缺德后娘养歪女主!和死对头双穿,冷面丈夫成了权臣恶毒公主觉醒后,他们都想当驸马开荒躲乱世,我家过的太富裕了!肥妻苟山村养娃,疯批佛子急疯了民国恶女求生游戏苟分日常七零:娇气包大小姐随军闹翻天穿越开自助,办个酒楼做首富她谋六零娇娇作精,糙汉老公带我躺赢前夫处处护青梅,重生改嫁他疯了非分之想七零娇妻萌宠在手,随军护家无忧被换命格后,玄门大佬杀疯了女配她过分美貌撩倒五个男主后,娇美寡妇跑路了刚大一就与女神老师被强制结婚春深囚宦逃荒有空间,嫁绝嗣糙汉一胎多宝守寡后,我逼疯了满朝文武去种田诈尸后,她成了大理寺卿的掌中娇八零:换嫁小渔村,我成全家团宠重生八零小豆丁,手握空间聊天群SSSSSSSSSSSSSS满级神医清穿:救命!太子妃她又在揍人啦锦鲤崽崽穿六零,捡来爹娘宠上天我死后第五年,疯批皇帝还在招魂敲骨吸髓?重生另选家人宠我如宝拒绝SSS级天赋被封杀,我成唯一真神急!死后成了宿敌金丝雀怎么办凤隐锦杀被抄家流放,飒爽嫡女在边关盖大楼!渣男兼祧吃绝户?改嫁皇叔他急了我的暴君系统天天想噶我老公炽吻失氧侧妃进门我让位,死遁了你疯什么娇软知青下乡后,禁欲大佬沦陷了雾色迷津和权臣一夜共感后,我女儿身暴露